안녕하십니까? RF Plasma Total Solution (주)영신알에프 입니다. RF전원 기반에서 대기압플라즈마를 방전시키기 위해서는 다음과 같이 3가지의 핵심 장치가 필요합니다.
- RF Generator(고주파전원장치)
- RF Matching Network(고주파정합장치)
- AP Plasma Source(대기압플라즈마 발생장치)
위와 같이 3가지 장치가 반드시 구성되어야 하는데요, 기존 각각의 장치 구성 시, 시스템 구성의 복잡함 그리고 RF Cable의 길이 제약 등의 여러가지 단점이 존재했었습니다. 이번 포스팅에서는 획기적으로 제품을 통합한 형태의 “HI-Z HEAD: RF Matching Type”제품을 소개하고자 합니다.
위 그림과 같이 YSR에서 획기적으로 개발된 RF 정합형 대기압플라즈마 발생장치는 다음과 같은 대표적인 장점이 있습니다.
- RF Cable 길이 제약에서 자유로움
- RF 전원이 온전하게 전달될 수 있음
- 시스템 구성이 단순해지고 원가 절감 가능
- Roll-to-Roll 시스템구성에 최적화
그 중에서도 가장 대표적인 장점은 RF Cable 길이 제약에서 벗어날 수 있다는 것 인데요, 이는 RF 대기압플라즈마 시스템 구성에 있어서 매우 중요한 부분을 시사합니다. 주로 13.56MHz 주파수를 이용하는 RF 전원은 LOAD 환경에 따라 RF Cable의 길이에 영향을 받을 수 있습니다.
다음 제품 사진은 RF Matching Network 와 통합된 정합형 대기압플라즈마 소스 장치입니다(HIZ-SMSH520).
RF 정합장치(RF Matching Network Unit)와 대기압플라즈마 발생장치(AP Plasma Source) 간에 연결된 RF Cable의 길이는 짧을 수록 좋습니다. 그렇기 때문에 YSR 사에서 개발된 통합된 정합형 대기압플라즈마 장치(Hi-Z HEAD: RF Matching Type)는 장치의 구성이 단순해짐과 동시에 최적의 RF전원을 인가할 수 있는 형태가 가능해 집니다.
YSR사의 HI-Z HEAD:RF Matching Type 제품은 In-Line에서 Roll-to-Roll 공정에서의 대기압플라즈마 처리 시 시스템 구성하는 데 있어 많은 이점이 있습니다. 제품의 설치가 용이하고 원격으로 제어가 가능합니다. 다음은 YSR에서 개발한 Roll-to-Roll 공정 설치에 최적화된 Rack Type Multiple AP Plasma System(HIZ-SMSH)입니다.
HIZ-SMSH 시스템 제품은 Roll-to-Roll 공정에서의 Film 또는 Foil 재료를 대상으로 하여 플라즈마 표면 처리 시, 동시 플라즈마 방전으로 양면 처리가 가능합니다. 본 시스템 구성은 최대 4개의 대기압플라즈마 동시 방전이 가능하도록 구성이 가능합니다.