RF 대기압플라즈마 다중 제어 시스템 PMA-SMSH

복수의 RF 플라즈마 장치 제어가 가능한 Rack 형태의 시스템으로써, Roll-to-Roll 공정에 활용도가 높습니다.

RF 대기압 플라즈마 다중 제어 시스템 PMA-SMSH

(주)영신알에프에서 최초로 개발한 RF Matching Box 통합형 플라즈마 소스인 HIZ-SMSH 제품의 장점을 기반으로 대기압플라즈마 다중 제어 시스템을 구성하였습니다. PMA-SMSH 시스템은 다수의 대기압플라즈마 처리가 필요한 Roll-to-Roll 공정에서 유용하게 활용이 가능합니다.

  • Rack 형태의 RF 대기압플라즈마 다중 제어 시스템 PMA-SMSH
  • 7″ 터치 디스플레이, 자체 개발한 PLC 제어 프로그램
  • 최대 3 SET 까지 RF Generator와 대기압플라즈마 소스 연결
  • 최대 6 MFC 제어, 비상 셧다운 버튼, PLC 리모트 통신 기능(MITSUBISHI: CC-LINK)

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RF 대기압 플라즈마 다중 제어 시스템 구성

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상부 PLC 제어 모듈

  • 전 기능 PLC 기반 제어 및 공정 커스터마이징 가능
  • 7″ 터치 디스플레이 화면
  • 시스템 셧다운 비상 버튼, 시스템 리모트 기능(MITSUBISHI: CC-LINK)
  • RF Power, RF Matching, Water Sensor, Temperature, Auto Sequence

하부 유틸리티 제어 모듈

  • 최대 6개의 MFC 제어(ex: Argon and Oxygen * 3 SET)
  • 물 흐름 감지 센서 장착
  • 레귤레이터, 동접지부스바와, 전원단자대 구성

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길이의 제약이 없는 RF Cable Line

  • 제어 시스템에서 플라즈마소스까지의 RF Cable의 길이 제약이 없음
  • 기존 분리형 RF 대기압플라즈마 장치 구성의 경우, RF Matching Box과 플라즈마 소스까지의 케이블 길이는 2M 이내
  • RF Cable의 길이제약이 사라짐으로써, 장치 구성이 매우 용이할 수 있음
  • 특히 단면, 양면, 후공정 플라즈마 처리를 위한 Roll-to-Roll 공정 구성에 최적화
  • PMA-SMSH 시스템은 RF Matching Box와 통합된 HIZ-SMSH Model 플라즈마 소스로 구성됩니다.

PMA-SMSH 제품의 사진 겔러리

PMA-SMSH 제품 사양

Dimensions 600(W) * 750(D) * 1400(H) mm
Electric 110-220V, 60Hz
Plasma Range 500mm ~ 1,500mm
RF Generator 1,000~3,000W(Depends on plasma source)
Plasma Source Only [HIZ-SMSH] Model is available(Integrated RF Matcher Type Plasma Source)
Gas Pipe Φ 6mm
Etc. 6 MFCs(Max), Touch Display, Water Sensor, Emergency Btn, CC-LINK