완전히 새로운 고주파 상압 플라즈마 반응기 “Hi-Z HEAD”

  • 임피던스 승압기를 장착하여 플라즈마 반응기 성능의 한계를 극복

  • 업계 최초 고주파 정합 장비와 통합한 상압 플라즈마 장비

  • 기존 영신알에프 RF 장비와의 완벽한 호환성과 신뢰성 보장

  • 획기적인 듀얼 플라즈마 기술로 장비의 단순화와 비용 절감 실현

  • 100mm ~ 1,500mm 까지의 다양한 유효 범위 제품 라인업

높은 신뢰성

  • 27년 노하우의 핵심 RF 장비 모두 직접 개발 및 생산

  • 자체 임피던스 승압 기술로 원활한 RF 전원 공급 및 발열 최소화

  • 기존 (주)영신알에프 RF장비와의 완벽한 호환성과 신뢰성 보장

생산 공정의 단순화

  • 업계 최초 플라즈마 반응기와 정합 장비를 통합한 상압 플라즈마 장비

  • 획기적인 듀얼 플라즈마 기술로 장비의 단순화와 더욱 빠른 플라즈마 처리

  • 100mm ~ 1,500mm 까지의 다양한 유효 범위 제품 라인업

합리적인 가격

  • 정합장비 통합형 모델과 듀얼 플라즈마 기술로 설비 구현 및 유지보수 비용 절감

  • 기존 RF 설비 환경에서의 상압 플라즈마 반응기 커스터마이징

  • RF 플라즈마 패키지 제품 구성으로 전체 공정 설비 비용 절감

“Hi-Z HEAD: High Impedance.”

완전히 새로운 RF 대기압 플라즈마 반응기 “Hi-Z HEAD”는

기존 대기압플라즈마의 한계를 극복하고 고객사의 좋은 파트너가 될 것 입니다

TYPE 1) Hi-Z HEAD : 임피던스 승압형

자체 임피던스 승압 기술이 장착된 “Hi-Z HEAD”. 최대의 RF 출력 성능과 획기적인 발열 개선을 경험하십시오.

  • 획기적으로 발열 문제를 개선하고 고질적인 RF 케이블 소손 현상 방지

  • 100mm 부터 1,500mm 까지의 다양한 플라즈마 유효 범위

  • 듀얼 플라즈마 기술과 고른 가스 분사

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TYPE 2) Hi-Z HEAD : RF 정합기 통합형

RF 정합장비(RF Matching Network Unit)와 대기압 플라즈마 반응기와의 일체화로 공정 효율성을 극대화할 수 있습니다.

  • 업계최초 RF 정합기와 대기압플라즈마 반응기와의 일체화

  • RF 케이블 길이에서 자유롭고 공정 단순화 실현

  • 장치 구성의 효율화로 비용 절감 가능

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