[YSR 대기압 플라즈마 소개]
(주)영신알에프(이하 YSR)는 지난 30여 년간 전통적으로 고주파전원장치(RF Generator)를 직접 개발 및 제조 생산을 하고 있는 기업으로써, 고주파 기술을 기반으로 한 대기압플라즈마 시스템 솔루션을 보유하고 있습니다.
YSR 만의 새로운 고주파 대기압 플라즈마 반응기(소스) “Hi-Z HEAD”를 소개합니다.
YSR에서 축적해온 RF 기술에 대한 노하우를 접목한 대기압플라즈마발생 장치로써, 타사 제품과 비교하였을 때, 다음과 같이 몇가지 눈에 띄는 장점이 있습니다.
- 승압 임피던스 기술로 고질적인 발열 현상 해결
- 고주파 정합장치(RF Matcher)와 플라즈마발생장치의 통합
- 모든 핵심 장치를 직접 개발 및 생산함으로써 통합적인 유지보수 접근이 가능
첫번째로 YSR의 대기압플라즈마 발생장치 “Hi-Z HEAD”는 독보적인 임피던스 승압 기술로 고질적인 발열 현상을 해결하였습니다. 다음 표에서는 YSR의 Hi-Z-HEAD 제품과 임피던스 승압 기술이 없는 일반 대기압플라즈마 발생 장치를 방전하고 RF 케이블의 굵기에 따라 대기압플라즈마발생장치의 발열을 비교해보았습니다.
| RF 케이블 굵기 | (주)영신알에프 – “Hi-Z HEAD” | 일반 AP Plasma 장치 |
|---|---|---|
| RG-393(10mm) | 25º 이하 | 127º |
| RG-400(8mm) | 38º | Dangerous |
| RG-316(6mm) | 57º | Dangerous |
확연한 발열 차이가 느껴지시나요? RF 케이블의 굵기가 얇을 수록 발열 수치가 더 높아지기 마련인데요, 임피던스 승압 기술이 포함되어 있지 않은 일반 대기압플라즈마 발생 장치의 경우 손을 댈 수 없을 정도로 뜨거운 수준으로 발열 현상이 나타났습니다. 이러한 발열 현상은 제품의 수명과도 긴밀한 연관이 있고, 저온을 유지해야 하는 공정에서 더욱 중요한 선택 기준이 될 수 있습니다.
두 번째 장점은 RF 전원을 이용한 대기압플라즈마 시스템에서 RF 정합장치(이하 RF Matcher)와 대기압플라즈마 발생장치를 통합하였습니다. 이러한 기술적 통합은 많은 장점을 지니고 있습니다.
다음 그림과 같이 RF 전원을 이용한 대기압플라즈마 솔루션은 RF Generator, RF Matcher 그리고 대기압플라즈마 소스 이렇게 3개의 핵심 장치를 필요로 합니다. YSR은 RF Matcher와 대기압플라즈마 소스를 통합함으로써, 장비 구성을 단순화시키고 합리적인 가격으로 고객사들의 공정 목표를 달성할 수 있습니다.
무엇보다도 더욱 중요한 부분이 또 있습니다. 특히 RF Matcher와 부하(LOAD) 그러니까, 대기압플라즈마 소스를 부하라고 볼 때, 연결 케이블의 길이가 짧으면 짧을수록 더욱 RF 전원의 제어가 용이합니다. YSR의 통합된 정합형 대기압플라즈마 소스(RF Matching Type AP Plasma Source)는 이러한 RF 전원의 효율화에 가장 최상의 환경이라고 볼 수 있습니다. 그리고 RF 전원 제어부(RF Generator)와 얼마든지 거리를 떨어뜨릴 수 있어 In-Line 공정에서도 설치 조건이 까다롭지 않습니다.
마지막으로 YSR의 모든 RF 대기압플라즈마 솔루션은 당사에서 직접 개발하고 생산하고 있다는 점 입니다. 이는 일관된 제품 품질 유지와 통합된 유지보수로 더욱 빠르고 정확한 이슈 확인과 보수가 가능하다는 것 입니다.
결국 고객사에서 원하는 것은 좋은 품질의 제품과 합리적이고 빠른 유지보수가 아닐까요? YSR은 모든 핵심장치를 직접 생산함으로써, 고객사의 품질 만족을 달성하기 위해 최고의 서비스를 제공하도록 하겠습니다.