최고의 RF Generating 기술력과 품질을 보증합니다

(주)영신알에프는 대한민국 반도체 산업 1세대 기업으로써, 국내 RF Generator 분야를 리드하고 있습니다

(주)영신알에프의 RF Generator 기술력

  • 약 30년의 대한민국 RF 장비 분야 1세대 기업의 기술 노하우

  • RF Generator와 Matching Unit 장비와의 일체화 구현

  • 국내외에서 인정받는 RF 기술력

  • 고객사 별 설비 환경에 적합한 맞춤형 설계

RF Generator 제품 소개

  • YSR-10AD, Dual RF Generator

YSR-01HD

  • 13.56MHz / Power range : 1~50W / CE 인증
  • RF Generator + Matcher 기능의 일체화 (실용실안 20-0420965-00-0)
  • Full Digital Matching Network
  • 일본 H사 부품 성능 테스트 통과 및 검증 완료
  • 이동성을 강조한 설계와 최적의 제품 디자인

YSR-03AM

  • 13.56MHz / 27.12MHz / Power range : 1~300W
  • Exclude Matching Controller
  • Non-VFD Display (심플한 디자인)
  • 매립형 방식에 사용이 용이한 제품
  • YSR-10AD, Dual RF Generator

YSR-10AD

  • 2MHz / 4MHz / 13.56MHz / 27.12MHz /Power range : 1~1000W
  • 크기, 형태의 다변화 (HALF + HALF RF GENERATOR)
  • 한정된 공간에서 2 대 이상 사용 시 편리함

YSR-03HDP

  • 13.56MHz / Power range : 1~300W
  • RF Generator + Matcher 기능의 일체화 (실용실안 20-0420965-00-0)
  • AUTO MATCHING 제어부 조작이 용이함
  • 성능 대비 뛰어난 경제성

YSR-10AF

  • 13.56MHz / Power range : 1~1000W
  • 자체 개발한 1kW 급 고출력/고성능 AMP Module 적용
  • 각종 보호 장치로 RF AMP 신뢰성 유지
  • 모듈식 설계로 생산 공정 단축 및 AS가 용이함

YSR-30S

  • 13.56MHz / Power range : 1~3000W
  • 자체 개발한 3kW 급 고출력/고성능 AMP Module 적용
  • 각종 보호 장치로 RF AMP 신뢰성 유지
  • 모듈식 설계로 생산 공정 단축 및 AS가 용이함

YSR-50MC

  • 13.56MHz / Power range : 1~5000W
  • 자체 개발한 5kW 급 고출력/고성능 AMP Module 적용
  • 각종 보호 장치로 RF AMP 신뢰성 유지
  • 모듈식 설계로 생산 공정 단축 및 AS가 용이함
SPEC / MODEL YSR-01HD YSR-03HDP YSR-06AH/AF YSR-10AH/AF YSR-15MC YSR-17MC YSR-30S YSR-50S
INPUT POWER 220V 3Φ 220V
OUTPUT POWER 100W 300W 600W 1000W 1500W 1700W 3000W 5000W
REFLECTED POWER LIMIT ±10% of Full-Rated Power
OUTPUT IMPEDANCE 50Ω
FREQUENCY 2MHz, 4MHz, 13.56MHz, 27.12MHz and 40.68MHz
COMMUNICATIONS PROTOCOLS Analog Subminiature 15pin D-Sub & RS232 Subminiature 9pin D-Sub
REGULATION ±1% of Full-Rated Power
DISTORTION HARMONIC <-55dB
RF POWER EFFICIENCY 70% Nominal
OUTPUT CONNECTOR M TYPE N TYPE 7/16 DIN TYPE
POWER SUPPLY MODE SMPS
COOLING TYPE AIR WATER