(주)영신알에프에서 야심차게 개발한 대기압 플라즈마 장치인 “Hi-Z HEAD” 모델 시리즈에서는 그간 고질적으로 지적되어 왔던 RF 케이블 발열 문제를 임피던스 승압 기술을 통해 원천적으로 해소하게 되었습니다.

RF 전원을 이용한 대기압 플라즈마 방전 시 발생하게 되는 발열 문제는 플라즈마 공정 상에서 발생하는 이슈의 90% 이상을 차지합니다. RF 케이블 발열에 따라 정합 장치에서도 무리가 갈 수 있기 때문입니다.

(주)영신알에프에서는 이러한 기술적 문제에 대해서 전문적인 RF 전원 기술을 바탕으로 모든 대기압플라즈마 장치에 기본 사양으로 적용되어 생산하고 있습니다.

 

기존 대기압플라즈마 장치에서는 직경 10mm의 두꺼운 RG-393 케이블을 사용해왔었습니다. 하지만 “Hi-Z HEAD” 대기압플라즈마 장치에서는 발열 문제가 해결됨에 따라, 보다 얇은 RF 케이블 사용이 가능해졌습니다. (하단부 사진 참조)

(주)영신알에프의 “Hi-Z HEAD”는 자체적인 발열 시험을 통해 RG-400 케이블 연결 시, 최대 37.8도, RG-393 케이블을 연결하여 최대 59.3도의 안정적인 온도를 유지하는 것을 확인하였습니다.  (하단 동영상 링크 참조)

보다 얇은 RF 케이블 사용이 가능해짐에 따라, 공정 설비에서 더욱 유연한 구조의 공정 설비가 가능합니다.