[:ko]

빠르고 정확합니다, Full Digital Matcher

마이크로 단위의 정밀하고 빠른 응답속도의 임피던스 제어기술을 경험하십시오

Full Digital Matching 알고리즘

RF Generator 장비와 함께 필수적으로 동반되는 Maching Network 장비는 안정적인 성능을 위해 정밀한 기술이 요구됩니다. (주)영신알에프에서 자체 개발한 Full Digital Matching 알고리즘 기술은 매우 빠르고, 정밀합니다.

  • 자체 기술로 구성된 임피던스 제어 알고리즘

  • (주)영신알에프 만의 전용 MCU 탑재

  • Matching-Point의 메모리 기능, Pre-set 저장 기능

  • Smith Chart에 표시되는 실시간 임피던스 변화추이 모니터링

Matching Network 제품 소개

AMN-100

  • 13.56MHz /27.12MHz RF Power : 1~600W
  • Field 검증이 완료된 Analog Auto Matcher
  • 다양한 플라즈마 장치에 적용 가능한 광범위한 임피던스 매칭 지원
  • Sensor 전압, Preset Position Cap position, Motor Volt 등 다양한 기능

AMN-120CS-FA

  • 13.56MHz / RF Power : 1~1500W
  • Field 검증이 완료된 Analog Auto Matcher
  • OUTPUT TYPE : Ceramic Insulator(Direct Type)
  • 손쉽게 사용 가능한 조작 방법

AMN-130A-FA

  • 13.56MHz / RF Power : 3000W
  • FULL DIGITAL AUTO MATCHER
  • NO-Gear, Potentiometer and Brush Motor
  • 독자 기술의 임피던스 제어 알고리즘 (제어 소프트웨어 별도 제공)

AMN-150A-FA

  • 13.56MHz / RF Power : 5000W
  • FULL DIGITAL AUTO MATCHER
  • OUTPUT TYPE : BAR TYPE(Vertical output)
  • 정밀한 임피던스 제어, 최대 3sec 이내 AUTO MATCHING
SPEC / MODEL AMN-100 AMN-120 AMN-130 AMN-150
RF POWER RANGE 0 ~ 600W 0 ~ 1500W 0 ~ 3000W 0 ~ 5000W
MATCHING METHOD 2AVC 1AVC & 1VVC 2VVC
FREQUENCY ±2MHz, 4MHz, 13.56MHz, 27.12MHz and 40.68MHz
INTPUT IMPEDANCE 50Ω
TUNING RANGE 10 ~ 1000Ω
RF INPUT CONNECTOR NR Din(7/17 Inch) Type
RF OUTPUT CONNECTOR CONNECTOR, CERAMIC, 동관, 부스 바 TYPE
OPERATION MODE Manual & Digital Auto Tuning
TUNING TIME 2Sec preset 설정 시
INDICATOR Capacitor Position (Load/Tune Position)
COOLING TYPE AIR AIR or WATER WATER
[:zh]

又快又正确的Full Digital Matcher

不仅精密,而且快的阻抗控制技术

Full Digital Matching 软件

和射频电源一起工作的匹配器一定要有很精密的技术水平,以便发挥稳定的性能。永信射频电子有限公司自主开发的Full Digital Mathing 软件不仅快,而且很精密。

  • 自主开发的阻抗控制软件

  • 装载自主开发的MCU

  • 存储Matching-Point和Pre-set

  • 通过软件内部斯密史圆图随时匹配状态

Matching Network 产品介绍

AMN-100

  • 13.56MHz /27.12MHz RF Power : 1~600W
  • 完成用户检验的模拟式匹配器
  • 可支援宽泛阻抗匹配,以便使用于多样的等离子体装置
  • 电压电感, Preset Position Cap position, Motor Volt等等,多样的功能

AMN-120CS-FA

  • 13.56MHz / RF Power : 3000W
  • 完成用户检验的模拟式匹配器
  • OUTPUT TYPE : Ceramic Insulator(Direct Type)
  • 操作简单

AMN-130A-FA

  • 13.56MHz / RF Power : 1~3000W
  • FULL DIGITAL AUTO MATCHER
  • NO-Gear, Potentiometer and Brush Motor
  • 可支援自主开发的控制匹配软件

AMN-150A-FA

  • 13.56MHz / RF Power : 5000W
  • FULL DIGITAL AUTO MATCHER
  • OUTPUT TYPE : BAR TYPE(Vertical output)
  • 精密的阻抗控制,  3sec以内 完成AUTO MATCHING
SPEC / MODEL AMN-100 AMN-120 AMN-130 AMN-150
RF POWER RANGE 0 ~ 600W 0 ~ 1500W 0 ~ 3000W 0 ~ 5000W
MATCHING METHOD 2AVC 1AVC & 1VVC 2VVC
FREQUENCY ±2MHz, 4MHz, 13.56MHz, 27.12MHz and 40.68MHz
INTPUT IMPEDANCE 50Ω
TUNING RANGE 10 ~ 1000Ω
RF INPUT CONNECTOR NR Din(7/17 Inch) Type
RF OUTPUT CONNECTOR CONNECTOR, CERAMIC, 동관, 부스 바 TYPE
OPERATION MODE Manual & Digital Auto Tuning
TUNING TIME 2Sec preset 설정 시
INDICATOR Capacitor Position (Load/Tune Position)
COOLING TYPE AIR AIR or WATER WATER
[:]