정합형 대기압플라즈마 소스 장치 소개
안녕하십니까? RF Plasma Total Solution (주)영신알에프 입니다. RF전원 기반에서 대기압플라즈마를 방전시키기 위해서는 다음과 같이 3가지의 핵심 장치가 필요합니다.
- RF Generator(고주파전원장치)
- RF Matching Network(고주파정합장치)
- AP Plasma Source(대기압플라즈마 발생장치)
위와 같이 3가지 장치가 반드시 구성되어야 하는데요, 기존 각각의 장치 구성 시, 시스템 구성의 복잡함 그리고 […]