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싱글 RF 플라즈마 시스템 패키지 #2
HIZ-SBSH800
YSR-10AF
AMN-120A-FA
싱글 플라즈마 패키지 #2 구성
- 800mm 임피던스 승압형 대기압 플라즈마 반응기 (HIZ-SBSH800)
- 1KW 급 RF GENERATOR (YSR-10AF)
- 1KW 급 정합 장비 (AMN-120A-FA)
- 중소형 플라즈마 처리에 적합한 플라즈마 패키지 (800mm 이하)
- RF GENERATOR + MATCHER + 플라즈마 반응기 구성
- 핵심 RF 플라즈마 장비 간의 높은 신뢰성
- Full Digital 정합 알고리즘
듀얼 RF 플라즈마 시스템 패키지 #1
HIZ-SMDH800
듀얼 플라즈마 패키지 #1 구성
- 800mm 정합기 통합형 대기압 플라즈마 반응기 (HIZ-SMDH800)
- 3KW 급 RF GENERATOR (YSR-RF03K)
YSR-RF03K
- 중소형 플라즈마 처리에 적합한 플라즈마 패키지 (800mm 이하)
- RF 정합장비와 일체화된 대기압 플라즈마 반응기
- 단순한 설비 구성이 가능한 RF 플라즈마 시스템
- 듀얼 플라즈마 기술의 높은 생산성과 획기적인 비용절감 가능
듀얼 RF 플라즈마 시스템 패키지 #2
HIZ-DBDH800
YSR-10AD
AMN-120CS-FA
듀얼 플라즈마 패키지 #2 구성
- 800mm 임피던스 승압형 대기압 플라즈마 반응기
- 1KW 급 더블 RF GENERATOR (YSR-10AD)
- 1KW 급 정합 장비 2대 (AMN-120CS-FA)
- 중소형 플라즈마 처리에 적합한 플라즈마 패키지 (800mm 이하)
- RF GENERATOR + MATCHER + 플라즈마 반응기 구성
- 설비 환경에 따른 RF 장비 커스터마이징 가능 (YSR-10AD)
- 높은 생산성이 가능한 듀얼 플라즈마 기술
싱글 RF 플라즈마 시스템 패키지 #2
HIZ-SBSH800
YSR-10AF
AMN-120A-FA
싱글 플라즈마 패키지 #2 구성
- 800mm 임피던스 승압형 대기압 플라즈마 반응기 (HIZ-SBSH800)
- 1KW 급 RF GENERATOR (YSR-10AF)
- 1KW 급 정합 장비 (AMN-120A-FA)
- 중소형 플라즈마 처리에 적합한 플라즈마 패키지 (800mm 이하)
- RF GENERATOR + MATCHER + 플라즈마 반응기 구성
- 핵심 RF 플라즈마 장비 간의 높은 신뢰성
- Full Digital 정합 알고리즘
듀얼 RF 플라즈마 시스템 패키지 #1
HIZ-SMDH800
듀얼 플라즈마 패키지 #1 구성
- 800mm 정합기 통합형 대기압 플라즈마 반응기 (HIZ-SMDH800)
- 3KW 급 RF GENERATOR (YSR-RF03K)
YSR-RF03K
- 중소형 플라즈마 처리에 적합한 플라즈마 패키지 (800mm 이하)
- RF 정합장비와 일체화된 대기압 플라즈마 반응기
- 단순한 설비 구성이 가능한 RF 플라즈마 시스템
- 듀얼 플라즈마 기술의 높은 생산성과 획기적인 비용절감 가능
듀얼 RF 플라즈마 시스템 패키지 #2
HIZ-DBDH800
YSR-10AD
AMN-120CS-FA
듀얼 플라즈마 패키지 #2 구성
- 800mm 임피던스 승압형 대기압 플라즈마 반응기
- 1KW 급 더블 RF GENERATOR (YSR-10AD)
- 1KW 급 정합 장비 2대 (AMN-120CS-FA)
- 중소형 플라즈마 처리에 적합한 플라즈마 패키지 (800mm 이하)
- RF GENERATOR + MATCHER + 플라즈마 반응기 구성
- 설비 환경에 따른 RF 장비 커스터마이징 가능 (YSR-10AD)
- 높은 생산성이 가능한 듀얼 플라즈마 기술