싱글 RF 플라즈마 시스템 패키지 #1

HIZ-SBSH300

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YSR-03AM


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DM-100C

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싱글 플라즈마 패키지 #1 구성

  1. 300mm 임피던스 승압형 대기압 플라즈마 반응기 (HIZ-SBSH300)
  2. 300W 급 일체형 RF GENERATOR (YSR-03HDP)
  • 소규모 플라즈마 처리에 적합한 플라즈마 패키지 (300mm 이하)
  • Full Digital Matching Box 장비로 빠르고 정확한 RF Matching
  • 필드에서 검증된 RF GENERATOR 장비 (YSR-03AM)

싱글 RF 플라즈마 시스템 패키지 #2

HIZ-SBSH800

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YSR-10AF

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AMN-120A-FA

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싱글 플라즈마 패키지 #2 구성

  1. 800mm 임피던스 승압형 대기압 플라즈마 반응기 (HIZ-SBSH800)
  2. 1KW 급 RF GENERATOR (YSR-10AF)
  3. 1KW 급 정합 장비 (AMN-120A-FA)
  • 중소형 플라즈마 처리에 적합한 플라즈마 패키지 (800mm 이하)
  • RF GENERATOR + MATCHER + 플라즈마 반응기 구성
  • 핵심 RF 플라즈마 장비 간의 높은 신뢰성
  • Full Digital 정합 알고리즘

듀얼 RF 플라즈마 시스템 패키지 #1

HIZ-SMDH800

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듀얼 플라즈마 패키지 #1 구성

  1. 800mm 정합기 통합형 대기압 플라즈마 반응기 (HIZ-SMDH800)
  2. 3KW 급 RF GENERATOR (YSR-RF03K)

YSR-RF03K

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  • 중소형 플라즈마 처리에 적합한 플라즈마 패키지 (800mm 이하)
  • RF 정합장비와 일체화된 대기압 플라즈마 반응기
  • 단순한 설비 구성이 가능한 RF 플라즈마 시스템
  • 듀얼 플라즈마 기술의 높은 생산성과 획기적인 비용절감 가능

듀얼 RF 플라즈마 시스템 패키지 #2

HIZ-DBDH800

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YSR-10AD

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AMN-120CS-FA

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듀얼 플라즈마 패키지 #2 구성

  1. 800mm 임피던스 승압형 대기압 플라즈마 반응기
  2. 1KW 급 더블 RF GENERATOR (YSR-10AD)
  3. 1KW 급 정합 장비 2대 (AMN-120CS-FA)
  • 중소형 플라즈마 처리에 적합한 플라즈마 패키지 (800mm 이하)
  • RF GENERATOR + MATCHER + 플라즈마 반응기 구성
  • 설비 환경에 따른 RF 장비 커스터마이징 가능 (YSR-10AD)
  • 높은 생산성이 가능한 듀얼 플라즈마 기술